이번 특허는 서로 다른 기체물질의 독립적 분사를 돕는 인젝터에 관한 것이다. 주성엔지니어링은 이번 특허를 활용해 반도체 사업 경쟁력 강화를 꾀한다는 계획이다.
뉴스토마토 김나볏 기자 freenb@etomato.com
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