테스, 기판처리방법 관련 특허 취득 공유하기 X 2014-09-02 13:25:18 ㅣ 2014-09-02 13:29:56 [뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리방법 관련 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 "공정시간과 기판의 회전속도가 가변되더라도 기판의 회전속도를 제어해 기판의 전체 영역에서 균일한 공정처리가 이루어질 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다. 이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 최신형 정치정책부장이 최종 확인·수정했습니다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 동성화인텍, 대우조선해양과 157억 규모 공급계약 SK "SK C&C 합병 추진설, 사실 아니다" 피앤텔, 휴메릭 보통주 40만주 무상감자 자연과환경, 유상증자 최종발행가액 1290원 박진아 지금 이 순간, 정확하고 깊이있는 뉴스를 전달하겠습니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 '경제 올인' 이재명정부…최대 과제는 '성장률' 회복 JM노믹스, 모피아 해체 찍고 '재정 개혁' '총리 후보' 김민석 "제2의 IMF 같은 상황…민생·통합 새길 것" '16년만' 원전 수출…한수원, 26조 체코 원전 최종 계약 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스