테스, 기판처리방법 관련 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2014-09-02 13:25:18 ㅣ 2014-09-02 13:29:56 [뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리방법 관련 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 "공정시간과 기판의 회전속도가 가변되더라도 기판의 회전속도를 제어해 기판의 전체 영역에서 균일한 공정처리가 이루어질 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 동성화인텍, 대우조선해양과 157억 규모 공급계약 SK "SK C&C 합병 추진설, 사실 아니다" 피앤텔, 휴메릭 보통주 40만주 무상감자 자연과환경, 유상증자 최종발행가액 1290원 박진아 지금 이 순간, 정확하고 깊이있는 뉴스를 전달하겠습니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 기술 인재가 미래 주역…"중요한 건 꺾이지 않는 마음" 가축전염병 정보공개 대상에 럼피스킨 추가 막 내린 국제기능올림픽…한, 2회 연속 아쉬운 '종합 2위' (인터뷰)강승환·정성일 "로봇시스템 통합, 목표는 금메달" 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스