탑엔지니어링, 대전방지용 시트 등 특허 취득

[뉴스토마토 이지영기자] 탑엔지니어링(065130)은 16일 대전방지용 시트와 대전방지된 작업 스테이지에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

회사 측은 "탄소나노튜브를 포함한 대전 방지 물질을 작업스테이지에 코팅했다"며 "반도체 제조 장비, 디스플레이 장치와 테스트 장치 등 대전방지가 필요한 작업 스테이지에 적용 가능하다"고 말했다

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