로보스타, 웨이퍼 이송 관련 특허 취득
2012-10-09 14:00:01 2012-10-09 14:01:36
[뉴스토마토 박승원기자] 로보스타(090360)는 웨이퍼 이송장비 및 이송방법에 관한 특허를 취득했다고 9일 공시했다.
 
회사측은 "당사제품에 이번 특허기술을 적용해 성능을 개선하고 기능을 강화할 것"이라며 "로봇을 응용한 시스템으로 반도체, 태양전지 생산공정에도 활용할 계획"이라고 밝혔다.
 

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지

지난 뉴스레터 보기 구독하기
관련기사