[뉴스토마토 박수연기자]
테스(095610)는 박막증착장치 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.
이 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술로 하나의 장치에서 적어도 둘 이상의 서로 다른 증착모드를 수행할 수 있게 된다.
회사 측은 "신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화하겠다"고 밝혔다.
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