[뉴스토마토 손정협기자] 반도체 후공정 전문기업인
하나마이크론(067310)의 자회사 하나실리콘(대표 최창호)이 국내최초로 480mm 단결정 실리콘 잉곳(ingot)을 개발했다.
하나실리콘은 지난 2008년부터 지식경제부 주관하에 삼성전자와 공동으로 진행해온 ‘드라이 에처(Dry Etcher)용 480mm 단결정 실리콘 부품소재 기술 개발’ 국책과제 수행 결과 최근 480mm 단결정 실리콘 잉곳 성장(growing)에 성공했다고 25일 밝혔다.
단결정 실리콘 잉곳은 원소재인 폴리실리콘을 고순도의 단결정 실리콘으로 변환시킨 반도체용 웨이퍼의 원재료로, 지금까지는 2009년 하나실리콘이 개발한 420mm(직경 기준)가 국내 최대였다.
업계에 따르면 현재 주력제품인 300mm 웨이퍼는 2012년 이후 450mm 웨이퍼로 전환될 전망이다.
450mm웨이퍼는 300mm 웨이퍼보다 반도체칩을 2배 가량 더 생산할 수 있으며
삼성전자(005930)와 인텔, TSMC는 2012년까지 450mm로 규격을 전환하는데 공동 협력하기로 합의한 바 있다.
하나실리콘은 이번 480mm 단결정 실리콘 잉곳 개발 성공으로 하나실리콘은 향후 도래할 ‘450mm 웨이퍼’ 시대에 대비할 기반을 미리 확보했다고 설명했다.
최창호 하나실리콘 대표는 “하나실리콘이 480mm 단결정 실리콘 잉곳 개발에 성공한 요인은 잉곳 성장설비의 핵심기술을 자체적으로 개발, 보유하고 있기 때문”이라며 “차세대 웨이퍼에 대비해 향후 전세계 유수 반도체 장비 업체와 공동으로 부품, 소재 개발을 추진할 것”이라고 말했다.
뉴스토마토 손정협 기자 sjh90@etomato.com
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