테스, 가스공급부 구비 박막증착장비 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2015-06-02 16:57:38 ㅣ 2015-06-02 16:57:38 테스(095610)는 가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장비에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 테스 측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술"이라며 "기판 또는 가스공급부가 이동하는 중에 공정가스를 공급함으로써 증착이 균일하게 이루어지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다"고 밝혔다. 조윤경 기자 ykcho@etomato.com ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 코스닥 기관 순매수 상위종목(확정) 코스닥 외국인 순매도 상위종목(확정) 비씨월드제약, 이매티닙 염기 신규한 제조법 일본 특허 취득 대원화성, 내구성 향상된 유지패드 특허권 취득 조윤경 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스