테스, 반도체 소자 갭필방법 관련 특허 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2014-12-10 16:22:06 ㅣ 2014-12-10 16:22:07 [뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 반도체 소자의 갭필방법에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다. 회사 측은 "이번 특허로 통해 화합물질을 사용하지 않고도 높은 종횡비를 갖는 패턴에서도 패턴 사이의 간극을 안정적이고 효과적으로 채울 수 있게 됐다"며 "신제품 개발 적용과 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 코스피 외국인 순매수 상위종목(잠정) 코스닥 외국인 순매수 상위종목(잠정) 코스닥 기관 순매도 상위종목(잠정) 코스닥 기관 순매수 상위종목(잠정) 임효정 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스