테스, 박막증착장치 관련 특허 취득
2014-05-07 14:07:00 2014-05-07 14:11:18
[뉴스토마토 임애신기자] 테스(095610)는 기판 처리량을 개선하고 기판 표면에 증착이 균일하게 이뤄지도록 하는 박막증착장치 특허를 취득했다고 7일 공시했다.
 
회사는 "신규 제품 개발 시 해당 특허 기술을 적용해 제품 경쟁력을 높이겠다"고 밝혔다.
 
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