테스, 박막증착장치 특허권 취득
2014-04-08 13:40:38 2014-04-08 13:44:58
[뉴스토마토 정해훈기자] 테스(095610)는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.
 
이번 특허기술을 적용하면 증착 공정을 수행하는 내부 환경과 기판에 증착되는 박막의 품질을 균일하게 유지할 수 있다.
 
또 도어장치가 반응가스에 의해 영향을 받는 것을 방지해 수명을 늘릴 수 있으며, 유지보수를 쉽게 할 수 있다.
 
이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.

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