에스엔유, 패턴 형성되는 증착장치 특허 취득

[뉴스토마토 이한승기자] 에스엔유(080000)는 패턴 형성이 가능한 증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.

 

이는 대면적 기판을 증착하기 위해 소정의 소스로 신속하게 증착해 패턴 형성이 가능한 증착 및 봉지장비를 만드는 장치로 유기발광다이오드(OLED)용 제조장비에 활용될 계획이다.

 

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