참엔지니어링 반도체 웨이퍼 홀더 특허권 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2013-09-23 13:31:17 ㅣ 2013-09-23 13:34:59 [뉴스토마토 양지윤기자] 참엔지니어링(009310)은 반도체 웨이퍼 홀더에 대한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다. 회사 측은 "웨이퍼 홀더 파손 시 체결부 만을 재가공 또는 교체할 수 있기 때문에 웨이퍼 배면을 균일하게 가공할 수 있으며, 유지보수 비용 절감이 가능하다"면서 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 화신·테스, 특허권 취득 공시 '최대' 참엔지니어링, 56억 규모 FPD장비 공급계약 체결 (특징주)반도체 관련주 보합세..한양이엔지 홀로 '↑' 참엔지니어링, 40억 규모 장비공급 계약 체결 양지윤 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스