테스, 기판처리시스템 특허 취득

[뉴스토마토 이종용기자] 테스(095610)는 기판처리시스템과 관련한 특허를 취득했다고 22일 공시했다. 회사측은 "하부막에 데미지가 발생하는 것을 방지하면서 식각 부산물 및 흄을 모두 제거할 수 있는 특허"라며 "기판처리시스템의 설치면적 대비 생산성이 향상되는 효과도 볼 수 있다"고 설명했다.