원익IPS, 챔버 세정 관련 특허 취득 공유하기 X 2013-06-17 13:46:01 ㅣ 2013-06-17 13:49:12 [뉴스토마토 박진아기자] 원익IPS(030530)는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 대한 특허를 취득했다고 17일 공시했다. 이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 최신형 정치정책부장이 최종 확인·수정했습니다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 유진테크, 29억 규모 반도체 제조장비 공급계약 유니슨, 칠레 풍력발전단지 건설 인허가 신청 준비 중 테크윙, 30억 규모 이엔씨테크 유상증자 참여 화신정공, 차량용 댐퍼 등 특허권 2종 취득 박진아 지금 이 순간, 정확하고 깊이있는 뉴스를 전달하겠습니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 '경제 올인' 이재명정부…최대 과제는 '성장률' 회복 JM노믹스, 모피아 해체 찍고 '재정 개혁' '총리 후보' 김민석 "제2의 IMF 같은 상황…민생·통합 새길 것" '16년만' 원전 수출…한수원, 26조 체코 원전 최종 계약 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스