참엔지니어링, 기판 수리장치 특허 취득

[뉴스토마토 조필현기자] 참엔지니어링(009310)은 기판 수리 장치 관련 국내 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

 

이 특허는 기판 지지핀이 측방으로 이동해 상부 플레이트의 측부레 가깝게 배치되어 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있는 기술이다.

 

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