탑엔지니어링, 플라즈마 처리장치 특허권 취득

2012-02-09 13:05:13 ㅣ 2012-02-09 13:05:13

[뉴스토마토 원나래기자] 탑엔지니어링(065130)은 플라즈마 데미지 프리 스퍼터 건 및 이를 구비한 스퍼터 장치와 이를 이용한 플라즈마 처리장치 및 성막 방법 등의 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.

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