테스, 기판 반송용 블레이드 관련 특허 취득

[뉴스토마토 김도엽기자] 테스(095610)는 기판 반송용 블레이드와 이를 구비하는 기판 반송 장치 특허를 취득했다고 1일 공시했다.

  

테스는 "블레이드와 기판(웨이퍼)의 접촉 면적을 최소화 할 수 있어 기판과 블레이드 사이 접촉에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있다"고 설명했다.

 

뉴스토마토 김도엽 기자 [e-mail]

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